四極質譜儀因其相對可靠、較好的性能價格比的優(yōu)勢適合于定性、定量分析。其主要部件是質量過濾器，用于過濾荷質比不同的離子。
 

　　四極質譜儀是基于在直流高頻四極分析領域中具有不同質荷比的離子的軌跡的穩(wěn)定性來實現質量分離的。它由四個平行且對稱放置的雙曲面電極(使用圓棒電極代替圖中的雙曲面電極)組成，這四個電極成對連接，并且直流和高頻疊加電壓Phi = U-Vcos T(12-45)式中，Umdash，mdash，直流電壓，Vmdash，mdash，高頻電壓振幅， mdash，mdash，敢打電壓角頻率( = 2pi，f)。這樣，就形成了雙曲線電勢分布的形式romdash，mdash，即雙曲面電極的內接圓的半徑(簡稱場半徑)。當質荷比為m / e的離子沿著Z軸(分析場的場軸)進入分析場時，離子的運動方程可以表示為方程(12-47) ，表明離子在Z方向上以恒定速度運動，而y和y方向上的運動方程是火星微分方程。為了將其轉換為標準的Mathian微分方程，可以將以下運動的轉換離子方程寫為標準的Mathian微分方程。從表中的數據可以看出，示例在Y方向上的移動主要基于。在該方向上的移動主要由基頻和一次諧波決定。(a)和(b)當beta，y = 0.05(ay = mdash，0.233982，qy = mdash，0.704396)，和beta，x = 0.95(ax = + 0.233982，qx = + 0.704396)Y和X個穩(wěn)定的運動軌跡示例。從中可以看出，Y方向的運動主要由基頻決定，而X方向的運動主要由基頻和一次諧波之差決定。從火星安徽偏方程的解中，我們還可以獲得穩(wěn)定離子運動的較大振幅。
 

　　四極質譜儀的精度高，用于監(jiān)測真空系統(tǒng)，能準確地辨別常規(guī)的殘余氣體，便于及時檢測真空問題與快速解除故障。這臺全內置的儀器可容易地連接任何真空室，內置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和運行于系統(tǒng)控制器的標準網頁瀏覽器查閱結果，無需外接計算機。